當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
在半導(dǎo)體制造業(yè)中，晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料，其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中，切割槽的深度與寬度檢測是評估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...
FSM413紅外激光測厚儀是一款廣泛應(yīng)用于晶圓厚度測量的先進(jìn)儀器。它采用紅外干涉（非接觸式）的測量方式。這種測量方式使得儀器能夠精確測量各種材料的厚度，特別是那些對紅外線透明的材料。此外，該儀器還可以測量有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上的晶圓的襯底厚度。FSM413紅外激光測厚儀產(chǎn)品簡介：1、利紅外干涉測量技術(shù)，非接觸式測量。2、適用于所有可讓紅外線通過的材料硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…FSM413紅外激光測厚儀規(guī)格：1、測量方式：紅外干涉(非...
光學(xué)厚度測量儀是一種可以檢測薄膜、金屬等材料厚度的儀器，而經(jīng)過厚度是否均勻，從而確定薄膜、金屬等材料的各項(xiàng)物理性能指標(biāo)。因?yàn)檫@些材料如果厚度不一致，那么不僅會(huì)導(dǎo)致材料的拉伸強(qiáng)度受到破壞，阻隔性下降，還會(huì)為材料的后期加工帶來不利的影響。該測量儀只是檢測金屬、薄膜、板材、橡膠、紙張、塑料的質(zhì)量和性能的基本方法。它所測量的對象往往是一些對厚度有一定要求的材料，其中，包括了金屬箔片，而金屬箔片還包括了鋁箔、銅箔、錫箔等?，F(xiàn)在由于儀器的改進(jìn)，厚度測試儀已經(jīng)漸漸成為確保各種材料能夠得到進(jìn)...
美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點(diǎn)：1、*封閉的設(shè)計(jì)，溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。5、可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。6、可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel，提供給SPC分析。8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì)，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研...
StrainScopeFlex可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)，對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶遍及*，用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀主要產(chǎn)品有三大系列：M系列高精度型；S系列實(shí)時(shí)型；M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測量時(shí)間＜45s，測量速度快。2、空間分辨率高，低噪聲。3、操作方...
FilmSenseFS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設(shè)計(jì)，使用壽命大于5000小時(shí)，同時(shí)FS-1的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)沒有轉(zhuǎn)動(dòng)部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性?？偟膩碇v，F(xiàn)S-1是一臺(tái)簡單易用的緊湊型設(shè)計(jì)的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點(diǎn)：1、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)。2、測量精度只有用本儀器才能達(dá)到。3、快速多次測量（多波長數(shù)據(jù)在10毫秒）且長期可靠性。4、長壽命（50000小時(shí)），不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時(shí)校正或周期維護(hù)。5、器對薄膜Δ參數(shù)相位差極...
