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晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)中的切割槽深度與寬度檢測(cè)技術(shù)
2024-12-18

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,切割槽的深度與寬度檢測(cè)是評(píng)估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...

  • 2021-08-20

    硅片電阻率測(cè)試模組是一款測(cè)量圓柱晶體硅電阻率測(cè)試儀器,可測(cè)量硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等,由于儀器大大消除了珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響,因此測(cè)試精度大大提高,量程實(shí)現(xiàn)了電阻率從10-4歐姆.厘米到10+4歐姆.厘米(可擴(kuò)展)的測(cè)試范圍。因此儀器具有測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。是西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)、物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)、光伏及半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科研部門、高等院校以及需要超大量程測(cè)試電阻...

  • 2021-07-21

    納米壓印機(jī)具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),支持尺寸從碎片到最大150毫米。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對(duì)準(zhǔn)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻。納米壓印機(jī)提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時(shí)間僅為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到專家級(jí)別的所有需求,因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。對(duì)于壓印工藝,本產(chǎn)品允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑1...

  • 2021-06-22

    紅外激光測(cè)厚儀一般是由兩個(gè)激光位移傳感器上下對(duì)射的方式組成的,上下的兩個(gè)傳感器分別測(cè)量被測(cè)體上表面的位置和下表面的位置,通過(guò)計(jì)算得到被測(cè)體的厚度。本產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測(cè)量,相對(duì)接觸式測(cè)厚儀更精準(zhǔn),不會(huì)因?yàn)槟p而損失精度。相對(duì)超聲波測(cè)厚儀精度更高。相對(duì)X射線測(cè)厚儀沒(méi)有輻射污染。測(cè)厚原理:兩個(gè)激光位移傳感器的激光對(duì)射,被測(cè)體放置在對(duì)射區(qū)域內(nèi),根據(jù)測(cè)量被測(cè)體上表面和下表面的距離,計(jì)算出被測(cè)體的厚度。紅外激光測(cè)厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號(hào)處理機(jī)...

  • 2021-05-26

    主動(dòng)減震臺(tái)是一款輕量的落地式隔振系統(tǒng),輕量化的架構(gòu)設(shè)計(jì)使得安裝和移動(dòng)十分便捷。采用進(jìn)口非壓電式專用技術(shù),無(wú)限制反饋傳感器結(jié)合鋼制彈簧和氣囊高度耦合的被動(dòng)基礎(chǔ)帶來(lái)0.5-100赫茲的超寬隔振頻域,可應(yīng)對(duì)高加速度下的振動(dòng)沖擊。主動(dòng)減震臺(tái)是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng),以提高精密設(shè)備的性能,具有較好的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為0.5Hz-200Hz,被動(dòng)隔振頻率200Hz,其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備...

  • 2021-05-21

    折射率測(cè)量?jī)x是一種折射光學(xué)儀器,他用來(lái)測(cè)量物質(zhì)在水中的濃度他利用光在水中折射的原理來(lái)完成測(cè)量。它的使用十分簡(jiǎn)單:取一滴樣品滴到棱鏡中,并讀取數(shù)值就可以了。具有可調(diào)焦點(diǎn),直接讀取數(shù)字。我司折射率測(cè)量?jī)x有糖度計(jì)、鹽度計(jì)、蜂蜜濃度計(jì)、乳化液濃度計(jì)、切削液濃度計(jì)、冰點(diǎn)儀、甲醇冰點(diǎn)儀,礦山乳化液濃度計(jì)、酒精濃度計(jì)、果酒濃度計(jì)、豆?jié){濃度計(jì)、牛奶濃度計(jì)、蓄電池比重計(jì)、電解液比重計(jì)、尿比重計(jì)等系列產(chǎn)品,可以測(cè)量所有溶液濃度,例如:果汁、飲料、紅酒、果醬、蜂蜜、牛奶、鹽度、鹽水、罐裝食物、清洗...

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