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晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)中的切割槽深度與寬度檢測(cè)技術(shù)
2024-12-18

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,切割槽的深度與寬度檢測(cè)是評(píng)估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...

  • 2023-10-18

    納米壓痕儀是一種用于材料力學(xué)性能表征的重要工具。它可以通過(guò)在材料表面施加微小載荷并測(cè)量其反應(yīng)來(lái)確定材料的硬度、彈性模量、塑性變形等指標(biāo),是研究材料力學(xué)性能的重要手段之一。本文將介紹該儀器的原理、應(yīng)用和意義,并探討其在材料科學(xué)和工程中的重要性。納米壓痕儀的原理是利用金剛石壓頭在材料表面施加預(yù)定載荷,并測(cè)量載荷下材料表面的位移量,從而確定硬度、彈性模量和塑性指數(shù)等力學(xué)參數(shù)。具體而言,當(dāng)壓頭施加力時(shí),會(huì)在材料表面產(chǎn)生類(lèi)似于凹坑的形狀,同時(shí)會(huì)引起材料表面位移。應(yīng)用基于反向微分算法的壓...

  • 2023-10-09

    膠水在工業(yè)生產(chǎn)和日常生活中被廣泛使用,但在膠粘劑固化后,常常會(huì)留下難以清除的殘留物。這些膠水殘留對(duì)產(chǎn)品外觀和性能都有負(fù)面影響,因此解決膠水殘留問(wèn)題成為了一個(gè)緊迫而重要的任務(wù)。在眾多去膠技術(shù)中,等離子去膠技術(shù)以其高效、環(huán)保的特點(diǎn)日漸受到關(guān)注。等離子去膠技術(shù)是一種利用等離子體的高能量和反應(yīng)性來(lái)去除膠水殘留的方法。它通過(guò)將所需清潔的物體放置在等離子體發(fā)生器中,使膠水殘留的表面暴露在等離子體的作用下。等離子體釋放出的高能量粒子會(huì)與膠水殘留發(fā)生碰撞并破壞其分子結(jié)構(gòu),從而去除膠水。該技術(shù)...

  • 2023-09-27

    隨著電子產(chǎn)品的不斷發(fā)展,薄膜電阻在電路板、顯示器、傳感器等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。而對(duì)薄膜電阻進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)試是保證電子產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關(guān)鍵。為此,薄膜電阻測(cè)試儀應(yīng)運(yùn)而生,成為提升電子產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要工具。薄膜電阻測(cè)試儀是一種通過(guò)測(cè)量薄膜電阻的阻值和溫度系數(shù),來(lái)評(píng)估薄膜電阻性能的設(shè)備。其原理基于電流-電壓(I-V)特性曲線的測(cè)量,通過(guò)施加電壓并測(cè)量相應(yīng)的電流來(lái)計(jì)算薄膜電阻的阻值。同時(shí),通過(guò)改變環(huán)境溫度并測(cè)量電阻的變化,可以評(píng)估薄膜電阻的溫度系數(shù)。該儀器結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡(jiǎn)便,能夠快速...

  • 2023-09-20

    薄膜厚度測(cè)量是材料科學(xué)和工業(yè)生產(chǎn)中的重要環(huán)節(jié)。為了滿(mǎn)足對(duì)精確度、便攜性和操作簡(jiǎn)便的需求,研究人員開(kāi)發(fā)了一種精簡(jiǎn)的薄膜厚度測(cè)量?jī)x,該儀器能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的測(cè)量,為各行各業(yè)提供了一種快速準(zhǔn)確的測(cè)量解決方案。精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x的原理基于光學(xué)干涉的原理。儀器主要由光源、分束器、樣品臺(tái)和檢測(cè)器組成。當(dāng)光線照射到待測(cè)薄膜表面時(shí),一部分光線被反射,一部分光線穿過(guò)薄膜并在底部反射。通過(guò)檢測(cè)這兩束光線的干涉衍射現(xiàn)象,可以計(jì)算出薄膜的厚度。這種測(cè)量?jī)x器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小巧、操作方便等優(yōu)點(diǎn)。它不需...

  • 2023-09-14

    隨著科技的發(fā)展和應(yīng)用范圍的擴(kuò)大,薄膜材料在多個(gè)行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,如光學(xué)、電子、涂層等領(lǐng)域。而對(duì)薄膜材料的厚度進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量是保證產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關(guān)鍵。為此,自動(dòng)化高速薄膜厚度測(cè)量?jī)x應(yīng)運(yùn)而生,成為提升生產(chǎn)效率的重要工具。本文將介紹該測(cè)量?jī)x的原理、特點(diǎn)以及其在工業(yè)生產(chǎn)中的應(yīng)用。自動(dòng)化高速薄膜厚度測(cè)量?jī)x是一種通過(guò)非接觸式方法,對(duì)薄膜材料進(jìn)行高速、高精度測(cè)量的設(shè)備。其原理基于光學(xué)干涉或X射線吸收等技術(shù),通過(guò)測(cè)量光或射線在薄膜表面的反射或透射情況,從而計(jì)算出薄膜的厚度。該儀器結(jié)構(gòu)緊...

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