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簡要描述：FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時(shí)間：2024-11-09訪 問 量： 973產(chǎn)品分類
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FR-Ultra 是一款專用于精確測量半導(dǎo)體以及介電材料超厚層的專用設(shè)備。 藉由先進(jìn)的光學(xué)器件，F(xiàn)R-Ultra 可以測量光滑或粗糙的薄膜以及較厚的基材。
典型應(yīng)用包括：厚玻璃的厚度測量（厚度可達(dá) 2 毫米，透明或霧面）晶圓厚度測量（例如直徑達(dá) 12 英寸的單面或雙面拋光晶圓）。
FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合，用于大面積的厚度測量。
硅片厚度分布圖（12英寸）
特點(diǎn)：
o 單擊分析（無需輸入初始預(yù)估值）
o 動(dòng)態(tài)測量
o 內(nèi)建700種以上不同材料
o 可安裝多個(gè)離線分析軟件
o 免費(fèi)軟件更新
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